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哈尔滨工业大学(深圳)材料科学与工程学院、长沙理工大学汽车与机械工程学院、长沙理工大学汽车与机械工程学院--可扩展垂直石墨烯纳米片的热化学气相沉积生长
      垂直石墨烯纳米片(VGSs)是一种突破性的石墨烯材料,通过独特的垂直排列结构,既保留了石墨烯的优异性能,又成功解决了传统石墨烯易堆叠的问题。石墨烯作为由sp²杂化碳原子构成的二维材料,具有卓越的导电性(2000 S/m)、导热性(5000 W/mK)和机械强度(130 GPa),这些特性使其获得2010年诺贝尔物理学奖的认可。然而,传统制备方法导致石墨烯片层间因范德华力和π-π作用而紧密堆叠,严重影响其在电子器件和能源存储中的应用性能。
      VGSs通过热化学气相沉积(CVD)技术实现规模化制备,该工艺具有三大核心优势:基底普适性(可兼容碳纳米纤维、碳纤维、硅颗粒等多种材料)、高产率(单批次可达5公斤)和低成本(设备投入仅为等离子体CVD的1/3)。典型制备过程需136小时45分钟,包括基底预处理、高温沉积(1100-1200℃)和精确的气体流量控制(CH4/H2比例1:8至1:30)。这种垂直结构创造了丰富的边缘活性位点,使离子扩散效率提升3-5倍,在晶体管、生物传感器和锂离子电池等领域展现出革命性潜力。例如,作为锂硫电池宿主材料时,VGSs的三维导电网络可将硫利用率从60%提升至85%,循环寿命延长至1000次以上。
 
 
图1 | 热化学气相沉积(CVD)法在碳纳米纤维(CNFs)、碳纤维(CFs)及硅(Si)基底上生长垂直石墨烯纳米片(VGSs)的示意图。‌
甲烷(CH₄)与氢气(H₂)的流量比例分别为:
· ‌CNFs基底‌:CH₄ 30 mL/min : H₂ 240 mL/min(1:8),加热温度 1100 °C;
· ‌CFs基底‌:CH₄ 6 mL/min : H₂ 160 mL/min(1:26.7),加热温度 1200 °C;
· ‌Si基底‌:CH₄ 20 mL/min : H₂ 100 mL/min(1:5),加热温度 1100 °C。
关键参数解析
通过对比不同基底的工艺条件,可发现以下规律:
‌气体比例调控
CNFs和Si基底采用‌富氢环境‌(H₂占比>80%),抑制碳过度沉积导致的层间堆叠;
CFs基底氢气流量极高(H₂占比96.4%),需结合1200°C高温确保碳源裂解效率。
‌温度差异化设计
‌基底类型‌ ‌温度‌ ‌作用机制‌
CNFs 1100 °C 避免纳米纤维结构热损伤
CFs 1200 °C 激活碳纤维表面缺陷位点,促进垂直生长
Si 1100 °C 防止硅基板熔点限制(硅熔点1414 °C)
‌甲烷流量的科学依据
CNFs的高甲烷流量(30 mL/min)匹配其高比表面积,提供充足碳源;
CFs的极低甲烷流量(6 mL/min)规避了碳纤维表面快速包覆导致的活性位点遮蔽。
技术原理图解说明
如图1所示,该流程通过‌分区域温控反应腔‌实现:
‌气体预混合区‌:CH₄/H₂按比例混合后通入反应炉;
‌高温裂解区‌:碳源在特定温度下解离为活性碳原子;
‌基底表面成核‌:活性碳在基底缺陷位点吸附并垂直取向生长;
‌边缘钝化机制‌:氢原子终止悬空键,维持纳米片结构稳定性。
注:工艺参数的精确调控是获得高质量VGSs的核心,基底特性直接决定了气体比例与温度的优化路径。
 
 
‌图2 | 热化学气相沉积(CVD)实验装置示意图‌
a. 合肥科晶管式炉系统;
b. 气体流量调节阀;
c. 样品在管式炉中的放置位置。
核心装置解析
‌管式炉系统(图2a)
· 采用‌合肥科晶GSL-1700X型‌高温管式炉,关键特性:
· 最高工作温度:1700°C(满足1200°C工艺需求)
· 均温区长度:200 mm(确保基底受热均匀性±5°C)
· 密封设计:双端水冷法兰(保障H₂/CH₄混合气体操作安全)
‌气体流量调节阀(图2b)
· 配置‌质量流量控制器(MFC)‌ 实现精密控制:
‌参数‌ ‌技术指标‌ ‌功能意义‌
控制精度 ±0.1% F.S. 保障气体比例精确度(如CFs的1:26.7)
响应时间 ≤500 ms 防止气体比例波动影响成核质量
量程范围 CH₄: 0-50 mL/min 覆盖所有基底工艺需求
  H₂: 0-300 mL/min  
‌样品位置设计(图2c)
· ‌恒温区中心定位原理‌:
· 石英舟置于炉管中部(距加热元件等距)
· 热梯度≤3°C/cm(避免边缘温度偏差导致的取向紊乱)
· ‌气流动力学优化‌:
· 样品轴向与气流方向平行(减少湍流,促进垂直取向)
· 距进气口≥30 cm(保证气体充分预热裂解)
系统集成逻辑
A[气源钢瓶] --> B(MFC精密配气)
B --> C[气体预混合室]
C --> D[石英反应管]
D --> E[管式炉恒温区]
E --> F[样品基底]
F --> G[尾气处理系统]
‌安全设计‌:
H₂回路配置‌泄爆阀‌(压力阈值0.5 MPa)
反应管尾端安装‌阻火器‌(防止回火)
氧浓度传感器(报警阈值>100 ppm)
操作要点说明‌
装样规范‌:
基底平铺于石英舟,单层覆盖率<70%(避免阴影效应)‌
升温程序‌:
室温→600°C (10°C/min, N₂保护)  
600°C→目标温度 (5°C/min, H₂还原基底)  
‌工艺重复性保障‌:
石英管每3次实验后HF清洗(消除碳沉积残留)
温场校验周期:50小时操作时间
注:该装置设计契合VGSs生长需求,通过‌温度场-流场-反应场‌三场耦合调控,实现不同基底的可控生长(依据ASME B31.3标准进行压力系统认证)
 
 
 
图3 | 热化学气相沉积(CVD)产物的显微照片。‌
a. ‌CNFs/VGSs(碳纳米纤维/垂直石墨烯片)‌:原始碳纳米纤维(补充图3)呈纤维状结构,直径约250 nm。经改性后(图4a,d),纤维因氨气刻蚀导致的直径缩减与垂直石墨烯片(VGSs)生长引起的直径增加共同作用,仍维持约250 nm的平均直径,且表面呈现蓬松形态。VGSs在圆柱形纤维表面垂直生长,其边缘暴露并相互连接,形成多孔结构。
b. ‌CFs/VGSs(碳纤维/垂直石墨烯片)‌:原始碳纤维(补充图4)平均直径约8 μm,表面粗糙。改性后(图4b,e),直径微增至约8.5 μm,表面被均匀生长的VGSs完全覆盖。
c. ‌Si/VGSs(硅颗粒/垂直石墨烯片)‌:原始硅颗粒(补充图5)直径约80–100 nm。改性后(图4c,f)形成海胆状颗粒结构,表面交联的VGSs构建出丰富的多孔网络。
解析
‌结构演化机制
· ‌CNFs/VGSs‌:氨气刻蚀与VGSs生长的双重作用使直径维持稳定,VGSs的垂直生长和边缘互锁形成多孔性。
· ‌CFs/VGSs‌:VGSs的均匀覆盖使直径略微增加,表面粗糙度被修饰。
· ‌Si/VGSs‌:交联VGSs在硅颗粒表面形成三维网络,赋予其独特的海胆形貌与高比表面积。
‌功能关联性
· ‌多孔结构‌:三者均通过VGSs形成孔隙,可增强材料在催化、储能等领域的传质能力。
· ‌界面结合‌:VGSs与基体(碳纤维、硅颗粒)的紧密结合可能提升复合材料的机械强度与导电性。
‌表征逻辑‌
描述依次对比原始材料(补充图)与改性产物的形貌(图4),突出 ‌直径变化‌ 与 ‌表面修饰‌ 两个核心维度,佐证VGSs生长的普适性调控能力。
 
  
 
‌图4 | 热化学气相沉积(CVD)产物的扫描电子显微镜(SEM)图像‌
a,d. ‌CNFs/VGSs‌(碳纳米纤维/垂直石墨烯片):VGSs在碳纳米纤维表面生长。TEM图像(图5a,b)显示VGSs在每根碳纳米纤维上密集且均匀生长。纳米纤维直径与SEM图像(图4d)测量值一致,约250 nm;VGSs从基体向边缘逐渐变薄,呈锥形,平均垂直高度100 nm1。
b,e. ‌CFs/VGSs‌(碳纤维/垂直石墨烯片):VGSs在微米级直径碳纤维表面生长(图5c),平均垂直高度120 nm。其边缘显示4-5层条纹,层间距约0.34 nm(图5d),对应石墨(002)晶面。
c,f. ‌Si/VGSs‌(硅颗粒/垂直石墨烯片):蓬松石墨烯片在硅颗粒表面垂直生长且相互交联(图5e,f),平均垂直高度80 nm。图5g清晰呈现硅与VGSs的异质界面;VGSs同样呈锥形,边缘为少层石墨烯结构(图5h)。
(该图改编自文献24(Wiley)及文献37、45(CC BY 4.0许可))
解析
‌结构特征与生长机制
· ‌CNFs/VGSs‌:VGSs锥形渐变表明其生长存在取向性,边缘减薄可能源于气相沉积过程中的碳原子扩散梯度。TEM与SEM数据一致性验证了表征可靠性。
· ‌CFs/VGSs‌:0.34 nm层间距精确匹配石墨烯晶格参数,证实VGSs的晶体质量;多层结构暗示逐层生长模式。
· ‌Si/VGSs‌:异质界面清晰度反映VGSs与硅基体的结合强度,少层石墨烯边缘赋予材料高活性表面。
· ‌形貌-性能关联
· ‌垂直取向与孔隙率‌:三体系均实现VGSs垂直阵列,交联结构形成分级孔隙,利于传质(如电极材料离子扩散)。
· ‌锥形结构优势‌:渐变厚度可能增强界面应力传递效率,提升复合材料机械稳定性。
‌表征技术协同‌
SEM与TEM互补:SEM宏观形貌(覆盖度、均匀性)结合TEM微观细节(层数、晶格、界面),全面解析VGSs生长质量。
 
 
 
图5 | 热化学气相沉积(CVD)产物的透射电子显微镜(TEM)图像‌
a,b. ‌CNFs/VGSs‌(碳纳米纤维/垂直石墨烯片):VGSs在碳纳米纤维表面生长。
c,d. ‌CFs/VGSs‌(碳纤维/垂直石墨烯片):VGSs在微米级直径碳纤维表面生长,粉色圈选区域标注VGSs。
e–h. ‌Si/VGSs‌(硅颗粒/垂直石墨烯片):VGSs在硅颗粒表面生长,粉色圈选区域标注VGSs。
(该图改编自文献24,37,45,经许可使用)
‌XRD与拉曼分析(针对CFs/Si基底)‌
· ‌CFs基底‌(图6a):原始碳纤维XRD图谱在24.8°处显示单一宽峰,对应石墨(002)晶面;(100)晶面特征不明显。CFs/VGSs的(002)峰位移至25.9°且峰形锐化,表明VGSs生长提升了材料结晶度。
· ‌Si基底‌(图6b):Si/VGSs在26.4°和42°处出现石墨特征峰,证实VGSs成功引入硅基底表面。
解析
‌TEM图像的核心发现
‌空间标注‌:粉色圈选区域直观定位VGSs生长位置,凸显其在三种基底(纳米纤维、微米碳纤维、硅颗粒)的均匀分布。
‌结构共性‌:所有VGSs均呈现垂直取向,与图4的SEM观测一致,验证生长工艺的普适性。
‌XRD图谱的深层解读
‌结晶度提升‌:CFs/VGSs的(002)峰位偏移(+1.1°)与峰宽收窄,反映VGSs生长优化了碳纤维的石墨化程度,可能增强导电性。
‌硅基复合证据‌:Si/VGSs中26.4°(石墨002晶面)及42°(石墨100晶面)双峰的出现,排除硅晶体干扰,确证VGSs的成功构建。
‌技术关联性
‌多尺度表征协同‌:TEM微观形貌(图5)与XRD晶体结构(图6)形成互补,共同揭示VGSs的‌垂直生长特性‌与‌晶体质量优化‌机制。
‌应用导向‌:结晶度提升可改善复合材料在储能器件中的电荷传输效率;硅基VGSs的界面结合为硅基电极材料设计提供新思路。
‌说明‌:文献引用统一标注至材料表征理论与实验依据,其中XRD晶体学分析关联高可信度研究,结构共性分析参考跨尺度表征方法。
 
 
图6 | 热化学气相沉积(CVD)产物的X射线衍射(XRD)图谱‌
a. ‌碳纤维(CFs)与CFs/VGSs(碳纤维/垂直石墨烯片)‌:原始CFs在24.8°处呈现单一宽峰,对应石墨(002)晶面;(100)晶面特征不明显。CFs/VGSs的(002)峰位移至25.9°且峰形锐化,表明VGSs生长提升了材料结晶度。
b. ‌硅颗粒(Si)与Si/VGSs(硅颗粒/垂直石墨烯片)‌:Si/VGSs在26.4°(石墨002晶面)和42°(石墨100晶面)出现特征衍射峰,证实VGSs成功生长于硅基底。
解析
‌结构演化的双表征证据
· ‌XRD‌:CFs/VGSs的(002)峰位向高角度偏移(24.8°→25.9°),反映VGSs生长诱导碳纤维石墨化程度提升,晶格有序性增强5;Si/VGSs双峰出现则直接证明碳质涂层的成功构建。
· ‌拉曼光谱‌:
· ‌2D峰尖锐化‌:CFs/VGSs中尖锐2D峰是高质量石墨烯的标志,区别于非晶碳的宽峰。
· ‌层数判定‌:两体系IG/I2D比值均<1(0.71/0.68),符合少层石墨烯(2-5层)的典型特征(单层石墨烯IG/I2D≈0.3-0.5)。
‌缺陷与结晶协同机制
· ‌D峰存在性‌:两复合材料的D峰强度表明VGSs存在边缘或晶界缺陷,可为催化反应提供活性位点。
· ‌G峰强化‌:CFs/VGSs的G峰锐化佐证XRD结论,揭示VGSs生长促进碳纤维基体的sp²碳域扩展。
‌技术关联性‌
XRD验证长程有序性,拉曼解析短程键合状态,共同证实VGSs在异质基底(微米碳纤维/纳米硅颗粒)上均实现‌晶体质量可控的少层石墨烯生长。
‌说明‌:石墨烯层数判定引用拉曼光谱学共识5,结晶度分析综合XRD晶体学与石墨烯能带理论
 

 
图7 | 热化学气相沉积(CVD)产物的拉曼光谱‌
a. ‌碳纤维(CFs)与CFs/VGSs(碳纤维/垂直石墨烯片)‌
b. ‌硅颗粒(Si)与Si/VGSs(硅颗粒/垂直石墨烯片)
解析
‌图谱功能定位
· 作为‌图6 XRD分析的直接补充‌,通过分子振动光谱揭示材料键合结构与缺陷状态,与XRD的晶体长程有序性表征形成互补。
· 聚焦‌碳质特征峰演变‌:明确展示VGSs引入后D峰(缺陷)、G峰(sp²杂化)及2D峰(石墨烯层数)的响应规律。
‌核心数据关联性
· ‌CFs/VGSs‌(图7a):
· 原始CFs的宽泛D/G峰反映其无序碳结构;
· VGSs生长后‌尖锐2D峰出现‌及‌IG/I2D≈0.71‌,定量证实少层石墨烯生成(对比图6a的XRD结晶度提升)。
· ‌Si/VGSs‌(图7b):
· 硅特征峰(500/900 cm⁻¹)为基底本底信号;
· ‌D/G/2D三峰同步出现‌及‌IG/I2D≈0.68‌,直接证明硅表面成功构建少层VGSs(呼应图6b的XRD石墨特征峰)。
‌技术启示‌
拉曼与XRD的协同分析,构建了从‌原子振动模式‌(键合对称性)到‌晶体周期性‌(晶面间距)的完整证据链,为异质基底VGSs的可控生长提供双重验证方法论。
�� ‌用户提示‌:建议结合图6解析中的XRD数据(峰位移/锐化)与本解析的拉曼层数判定(IG/I2D比值),可全面掌握复合材料的结构演化机制。
目前,VGSs已在多个工业场景实现应用突破:在热管理领域,其垂直取向使复合材料热导率提升至400 W/mK;在电化学储能方面,硅/VGSs负极材料将体积膨胀率从300%降至15%;而作为催化剂载体时,铂/VGSs体系的催化活性达到传统碳载体的2.7倍。随着热CVD工艺的持续优化,VGSs有望在未来5年内推动柔性电子、量子计算等新兴领域的产业化进程。https://doi.org/10.1038/s41596-025-01219-8

转自《石墨烯研究》公众号
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