半导体型单壁碳纳米管薄膜晶圆是把高纯度
半导体型(s-SWCNT)单壁碳纳米管,以随机网络薄膜形式均匀铺在标准晶圆衬底上,做成 4–8 英寸的"碳基半导体晶圆"。不是单根阵列,也不是导电浆料,而是给薄膜晶体管(TFT)、传感器、碳基芯片做
沟道层/敏感层的半成品材料。
产品参数
直径:1.3~1.6nm
长度:0.5~5um
纯度:>=99.9%
薄膜形态:随机分布网络,碳管密度约 20 根/μm
晶圆尺寸:4–8 英寸可选(展会披露过 4–6 英寸量产级)
衬底可选:Si/SiO₂、ITO、SiN、石英等,适配常规微电子工艺
供货:备货 5–7 个工作日,室温洁净干燥保存
应用场景
薄膜晶体管(TFT):显示驱动、柔性透明电子沟道层
碳基集成电路 / 碳基芯片:后摩尔时代低温 BEOL 集成备选
光电探测器件、气敏/应力传感器
电子皮肤、柔性与可穿戴感知层(和你 PDF 中电子皮肤页呼应)
科研原型验证:高校/院所直接拿晶圆做器件,不用自己分散成膜
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